AD11/2016-0REEL_AD1937WBSTZ-R導(dǎo)讀

2019年4月，Diodes公司完成了對(duì)位于英國(guó)蘇格蘭Greenock的德州儀器150mm / 200mm晶圓廠（GFAB）的收購(gòu)，這也是TI逐步摒棄落后產(chǎn)能策略的一部分。德州儀器目前在9個(gè)國(guó)家有15座晶圓廠，當(dāng)然，這些廠房中包括即將關(guān)閉的落后產(chǎn)能，以及新建的300mm產(chǎn)能。

。據(jù)IC Insights統(tǒng)計(jì)，在過去的10年中(2009-2018年)，全11球半導(dǎo)體制造商總共關(guān)閉或重建了97座晶圓廠。具體如下圖所示。其中，關(guān)閉了42座150mm晶圓廠和24座200mm晶圓廠，而關(guān)閉的300mm晶圓廠數(shù)量?jī)H占關(guān)閉總數(shù)的10%。

AD11/2016-0REEL_AD1937WBSTZ-R

AD1582ART-RL7

AD1385KD AD1403AN AD1403N AD1403N AD15/112 。

AD1021AARQZ AD1021AARQZ AD1021ARQ AD1021RQ AD1021RQ 。

AD1580BKSZ-REEL7 AD1580BRT AD1580BRT-R2 AD1580BRT-REEL7 AD1580BRT-REEL7 。

AD1380KD AD1380KD AD1380KD/JD AD1382KD AD1382KD AD1385JD 。

AD11/2016-0REEL_AD1937WBSTZ-R

AD4075-2ARZ

AD1032AR AD1032AR AD1032AR AD1032AR AD1062KN 。

AD1582ART-RL AD1582ART-RL7 AD1582ARTZ AD1582ARTZ AD1582ARTZ-REEL7 。

AD1584ART-RELL7 AD1584ARTZ AD1584ARTZ AD1584ARTZ-R2 AD1584ARTZ-REEL7 。

AD1022A1RQ AD1022A1RQ AD1022A2RQ AD1022A2RQ AD1022ARQ 。

AD11/2016-0REEL_AD1937WBSTZ-R

不過薄膜結(jié)構(gòu)需要足夠堅(jiān)固以至于在后續(xù)工藝中不受影響。相比BAW-SMR，membrane type 較少一部分跟底下substrate接觸，不好散熱。

??因?yàn)橹皇沁吘壊糠指紫聅ubstrate接觸，這種結(jié)構(gòu)在受到壓力時(shí)相對(duì)脆弱，而且跟membrane type類似，散熱問題同樣需要關(guān)注。Airgap type在制作壓電層之前沉積一個(gè)輔助層(sacrificial support layer)，最后再把輔助層去掉，在震蕩結(jié)構(gòu)下方形成air gap。

相關(guān)資訊